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SERVICE
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プラズマの光で、未来が輝く!
プラズマは、固体・液体・気体に次ぐ、物質の第4の状態と言われており、気体状態となった物質(ガス)に対し、熱などのエネルギーを加えることにより、構成する分子がイオン化して非常に高いエネルギーを持った状態をいいます。
このプラズマのもつエネルギーを利用し、半導体製造プロセスは大きな進歩を遂げてきました。
今では、プラズマプロセスは、スパッタリング、エッチング、CVD(化学気相成長)、イオン注入装置などの半導体ウエハ・デバイス製造装置に欠かせない要素であり、これにより、高精度な加工を可能にし、より高性能な半導体素子の製造を実現しています。
プラズマプロセスは、まだまだ未知の部分も多く、今後も大きな発展に寄与するでしょう。
私たち、株式会社StarPlasmaは、プラズマの持つ無限の可能性を信じ、お客様のニーズや社会の発展のため、プラズマ技術を取り入れた研究開発に取り組んでいきます。
主取扱製品・サービス
▼取扱製品
(1)大口径量産型エッチング、CVD装置:□600 mm多段プラズマ処理
(2)プラズマ研磨装置(ダイヤモンドやDLC、SiC研磨装置(研究・開発))
(3)スピンコーター×ランプヒーター複合成膜装置(研究・開発中)
▼サービス
(1)真空装置改造・機能付与対応
(具体的な事例)
・既存の真空装置へのプラズマプロセス導入
・既存のプラズマプロセス改善、性能向上
・より高温、より高速に基板等の対象物を加熱
・より高い真空度の実現
(2)安全装置、安全回路、安全システムのご提案
(具体的な事例)
・ガス検知システム構築、既存システムとの連携
・インターロックの追加
・成膜プロセスの自動化
・データロギング機能追加